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[学位论文] 作者：严利均,
来源：重庆大学 年份：2001
该文针对焊接工艺规程设计的复杂性和重复性的问题,在分析了国内一些焊接生产企业制定焊接工艺规程时采用的方法和步骤的基础上,参考国外一些先进的商业性焊接应用软件的设计...
[期刊论文] 作者：李国荣,赵馗,严利均,Hiroshi Iizuka,刘身健,,
来源：北京大学学报:自然科学版 年份：2019
由于常规等离子体刻蚀系统在晶圆边缘处的阻抗与晶圆中心处的阻抗不一致,使离子在晶圆边缘处的运动轨迹发生偏移,很难满足越来越高的刻蚀工艺均匀性及深宽比的要求。本文提出...
[期刊论文] 作者：李国荣,赵馗,严利均,Hiroshi Iizuka,刘身健,,
来源：北京大学学报（自然科学版） 年份：2019
由于常规等离子体刻蚀系统在晶圆边缘处的阻抗与晶圆中心处的阻抗不一致,使离子在晶圆边缘处的运动轨迹发生偏移,很难满足越来越高的刻蚀工艺均匀性及深宽比的要求.本文提出...
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