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[期刊论文] 作者:中国国家自然科学基金委员会机械学科, 来源:数字制造科学 年份:2004
本着有限支持、重点突破的原则,将“超精抛光中纳米粒子行为和化学作用及平整化原理与技术”、“磁头、磁盘表面润滑规律和超薄保护膜的生长机理及技术”、“面向芯片封装的高......
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