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[期刊论文] 作者:高杨,周斌,何移,李君儒,何婉婧,, 来源:测控技术 年份:2014
传统呼啦圈为实体产品,体积大,不易随身携带,使用不当有可能损害身体健康.设计了一种基于微加速度计的新型虚拟呼啦圈,能够将腰部的扭动转化为同步的LED点阵屏转动,采用带有...
[期刊论文] 作者:高杨,何婉婧,李君儒,黄振华,蔡洵,, 来源:中国惯性技术学报 年份:2015
针对"FBAR(薄膜体声波谐振器)-梁"结构悬臂梁厚度不足、"嵌入式FBAR"结构微加工工艺复杂的缺点,提出了新型"膜片上FBAR(FBAR-on-diaphragm)"结构的微加速度计。其弹性膜片由氧化硅/氮化......
[期刊论文] 作者:周斌,高杨,何移,李君儒,何婉婧,, 来源:微纳电子技术 年份:2013
由薄膜体声波谐振器构成的滤波器,其带宽受压电材料机电耦合系数的影响,较难实现窄带滤波器设计。使用ADS射频仿真软件设计了一种通带为1.18~1.20 GHz的窄带薄膜体声波滤波器,...
[期刊论文] 作者:高杨,何婉婧,李君儒,黄振华,蔡洵,, 来源:压电与声光 年份:2015
薄膜体声波谐振器(FBAR)具有高灵敏度、高工作频率,低功耗,小尺寸及制造工艺IC兼容的特点,使其成为高效能换能器和传感器的理想技术。基于FBAR的传感器,如高灵敏度质量传感器...
[期刊论文] 作者:高杨,何移,周斌,何婉婧,李君儒,, 来源:压电与声光 年份:2014
牺牲层释放是空腔型薄膜体声波谐振器(FBAR)工艺中形成空腔结构的关键步骤,牺牲层释放的效果直接决定了空腔型FBAR的谐振特性。根据空腔型FBAR中气隙的功能和结构特点,提出了自...
[期刊论文] 作者:李君儒, 高杨, 何婉婧, 蔡洵, 黄振华,, 来源:强激光与粒子束 年份:2014
电容式RF MEMS开关在控制高功率射频信号时会发生自锁失效,由于开关桥膜与介电层之间的粗糙接触,开关的down态电容会发生退化,因此很难建立开关自锁失效阈值功率的高保真预测...
[期刊论文] 作者:何移, 高杨, 周斌, 李君儒, 何婉婧,, 来源:太赫兹科学与电子信息学报 年份:2014
机械应力和自热效应是影响空腔型薄膜体声波谐振器(FBAR)功率容量的主要因素。采用ANSYS对声波纵向振荡产生的机械应力进行了结构仿真,发现应力主要集中在空气腔结构附近;对...
[期刊论文] 作者:高杨,周斌,何移,何婉婧,李君儒,, 来源:压电与声光 年份:2015
随着薄膜体声波谐振器(FBAR)工作频率及FBAR器件集成度的不断提高,FBAR器件的电磁干扰问题显得尤为突出。常用电学模型和有限元模型都假定FBAR中的电磁场为无源准静态场,无法仿...
[期刊论文] 作者:高杨, 何移, 周斌, 李君儒, 何婉婧,, 来源:测控技术 年份:2014
传统的饮水监护装置使用地点固定,不具有饮水提醒功能。设计了一种基于智能手机的饮水监护装置,能够通过智能手机更新饮水信息并提醒饮水。饮水量检测装置通过压力传感器检测...
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