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[学位论文] 作者：何良辰,,
来源：哈尔滨工业大学 年份：2016
可变狭缝系统作为扫描光刻机重要的分系统,在曝光等工作过程中起到了十分重要的作用。可变狭缝系统的核心部件为可变狭缝精密运动平台,在精密运动控制中,平台中含有的非线性...
[期刊论文] 作者：何良辰,刘杨,,
来源：自动化与仪表 年份：2016
针对直线电机在运转过程中受到定位力扰动影响的问题,提出一种基于遗传算法优化神经网络的电机定位力辨识方法。该方法利用由加速度计得到的直线铁芯电机的定位力数据,通过人...
[期刊论文] 作者：何良辰,宋跃,刘洋,刘杨,,
来源：自动化与仪表 年份：2015
考虑到光刻机微动台相对于硅片调平运动的快速性、准确性和稳定性的要求，提出了一种基于DSP与FPGA的三自由度调平控制系统设计和实现方法。以TI公司的DSPTMS320C6414芯片为主...
[期刊论文] 作者：郭广亭,王洪君,何良辰,,
来源：农业机械 年份：2002
农用车是我国土生土长的一种农业机械,入世后对它将有怎样的影响呢?农用车将有什么样的发展趋势?应如何把这种自己的特色产品做强做大?这些应该是农用车相关企业和人士所关...
[期刊论文] 作者：宋跃,张常江,强盛,刘洋,何良辰,,
来源：自动化技术与应用 年份：2016
双工件台是光刻机的重要部分,为了保证其曝光的准确性,提出一种基于FPGA和DSP的工件台自转电机的控制系统设计方案。详细介绍了控制系统的驱动电路、永磁同步电机执行机构和...
[期刊论文] 作者：刘洋,陈兴林,何良辰,宋跃,张常江,,
来源：自动化技术与应用 年份：2016
在目前普遍应用的步进扫描投影式光刻机中,工件台技术是光刻机的核心技术之一。为了实现双工件台交换的关键步骤--转台齿轮同步调向,提出了一种基于DSP和FPGA公自转同步调向...
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