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[期刊论文] 作者：吴疆,兰贵明,
来源：数字通信世界 年份：2015
在光伏及微电子等半导体制程中,高纯液态源广泛应用于氧化扩散、CVD等工艺.本文简要介绍了半导体制程中高纯液态源输送系统的技术结构,并提出了应用中需严格遵循的操作规程和...
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