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[期刊论文] 作者：唐海林,凌宏芝,,
来源：电子元件与材料 年份：2007
为制备用于硅溶片工艺的高浓度硼深扩散自停止腐蚀层硅片,对扩散掺杂工艺进行了研究。结合预淀积和再分布两种条件下扩散的特点,采用两步法工艺制备了高浓度硼深扩散硅片,研...
[期刊论文] 作者：王保安,凌宏芝,
来源：电子技术参考 年份：1997
叙述了真空蒸发金属膜的形成过程和膜层结构，运用金属原子迁移理论分析了挠性力平衡力速度传感器石英摆片导带“断裂”故障，提出了增强可靠性的技术途径。...
[期刊论文] 作者：袁明权, 凌宏芝, 彭勃,,
来源：激光技术 年份：2006
为了实现石英玻璃薄板的激光精密切割，对石英玻璃薄板激光切割原理进行了探讨，提出了依照材料光学透过率特性来选择激光切割用激光源的方法。通过对材料光学透过率的特性分析可......
[期刊论文] 作者：李福军,袁明权,凌宏芝,,
来源：激光杂志 年份：2008
本文对数控CO2激光器设备进行了介绍，在工艺实践中，根据数控CO2激光器的特点和加工产品的具体参数，设计编出相应的加工工艺图形和加工参数程序，并设计出相应的加工夹具。可实现复......
[会议论文] 作者：李福军,袁明权,凌宏芝,
来源：四川省电子学会传感技术第十届学术年会 年份：2007
本文对数控CO激光器设备进行了介绍,在工艺实践中,根据数控CO激光器的特点和加工产品的具体参数,设计编出相应的加工工艺图形和加工参数程序,并设计出相应的加工夹具。可实现...
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