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[会议论文] 作者：刘战伟[1]温辉辉[1]李传崴[2],
来源：2014年全国固体力学学术大会 年份：2014
随着微纳米技术研究的不断深入,以及微机电系统(MEMS)应用的发展,对微纳米器件力学性能测量和表征也成为人们关注的热点问题,发展适合微纳米尺度三维变形的测量方法成为...
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