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[会议论文] 作者：初明璋,,
来源： 年份：2004
随着半导体工业的迅猛发展,真空设备的真空度要求越来越高,检测真空漏率的氦质谱检漏仪的技术指标也在相应提高。在提供原有产品的同时,世界各国的氦质谱检漏仪生产商正努力...
[会议论文] 作者：初明璋,
来源：第八届真空技术应用学术年会 年份：2005
随着半导体工业的迅猛发展,对真空设备的真空度要求越来越高,对检测真空漏率的氦质谱检漏仪的技术指标也在相应的提高.处在亚洲最大的真空设备生产中心,日本的氦质谱检漏仪生...
[期刊论文] 作者：初明璋,韩立,
来源：真空 年份：2005
详细介绍了在真空锁中的动密封设计过程,并就设计中出现的问题做了分析,提出了解决方案。The dynamic seal design process in the vacuum lock is introduced in detail,...
[期刊论文] 作者：初明璋,顾文琪,
来源：微细加工技术 年份：2003
论述了离子束曝光技术的原理、特点,分析了其面临的关键技术问题,如掩模技术、离子源技术、图像对准技术等,并介绍了这些年来国外的一些研究机构及公司在离子束曝光技术上的...
[期刊论文] 作者：孔祥东,韩立,初明璋,李建国,,
来源：微纳电子技术 年份：2011
提出了一种基于电子束曝光制备光滑曲面微结构的新技术。对聚合物玻璃转化温度与分子量之间的关系、分子量与电子束吸收能量密度之间的关系进行了理论分析,发现聚合物玻璃转...
[期刊论文] 作者：陈代谢,林云生,初明璋,韩立,,
来源：现代科学仪器 年份：2009
随着材料学研究的发展,需要一种在对材料进行微观检测时进行同步微操作的工具。本文设计了一套基于PC104的嵌入式微拉伸台控制系统,介绍了该系统的硬件组成以及软件编程。采...
[期刊论文] 作者：孔祥东,韩立,初明璋,薛虹,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2011
提出了基于电子束曝光的微区加热技术．在研究样品吸收能量密度的基础上，在FEI820 Dual Beam FIB／SEM系统上对30keV电子束曝光Pb、Bi、Sn、Al金属薄膜以及15keV电子束曝光S1805正...
[期刊论文] 作者：张来福,初明璋,倪秋牙,童建忠,
来源：能源技术 年份：2001
从理论上分析了碱金属热电转换器的输出电压与电极电流密度之间的关系,最大电极功率密度与工作温度、电极电流密度和BAsE面电阻之间的关系,电极效率与工作温度、电极电流密度...
[期刊论文] 作者：殷伯华,初明璋,林云生,韩立,,
来源：电子显微学报 年份：2009
本文介绍了关键尺寸原子力显微镜（CD-AFM）在半导体芯片制造中的应用。通过对比现有的半导体检测仪器与原子力显微镜的工作原理和检测方法,详细探讨了原子力显微镜在目前的半导......
[会议论文] 作者：殷伯华,初明璋,林云生,韩立,
来源：第十届全国扫描隧道显微学学术会议 年份：2008
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[会议论文] 作者：初明璋,刘俊标,殷伯华,韩立,
来源：中国真空学会2016学术年会 年份：2016
真空的极端环境，使得运行中的电机热量散发不出去，电机性能下降；而组成电机零部件的材料，在真空中又会释放出气体，破坏真空环境。两者如何达到“互不干涉” “和平相处”，电机的选用就十分重要。本文主要介绍了在真空环境下，如何选用直流电机、步进电机和超声电机。希......
[会议论文] 作者：楼国锋,倪秋芽,童建忠,初明璋,
来源：第七届全国热管会议 年份：2000
本文对碱金属热电转换器的钠循环回路进行了设计计算,确定了回路中所用吸液芯的性质参数,并针对钠循环回路中各部分的压降以及吸液芯所能提供的毛细力与温度的关系给出了计算...
[期刊论文] 作者：殷伯华,陈代谢,林云生,初明璋,韩立,,
来源：光学精密工程 年份：2011
针对目前高速扫描型原子力显微镜(AFM)主要是限于物检测且扫描速度和扫描范围均有待提高,提出了一种高速原子力显微镜结构设计方案。在压电陶瓷致动器驱动的柔性铰链结构式位...
[期刊论文] 作者：陈代谢,殷伯华,林云生,初明璋,韩立,,
来源：现代科学仪器 年份：2010
如何实现高速高精度的扫描探针显微镜（SPM）扫描已经成为国际上研究的一个热点问题,扫描器动态响应性能的好坏、控制算法的优化以及电子学系统的设计等,都将影响SPM的扫描速度和......
[期刊论文] 作者：陈代谢,殷伯华,林云生,初明璋,韩立,,
来源：光学精密工程 年份：2011
为了扩大原子力显微镜（Atomic Force Microscope,AFM）使用范围,研制了一套大范围高速AFM系统。针对大范围高速扫描时Z方向控制问题,提出了前馈反馈混合控制方法。前馈控制包括...
[期刊论文] 作者：陈代谢,殷伯华,林云生,初明璋,韩立,,
来源：仪器仪表学报 年份：2011
为了进一步扩大原子力显微镜（AFM）的应用范围,研制出一套大范围高速AFM系统。该系统采用上、下两个扫描器,上扫描器负责Z方向闭环控制的动态响应,下扫描器负责X、Y方向平面扫描...
[会议论文] 作者：顾文琪,薛虹,韩立,刘俊标,初明璋,
来源：第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：2005
本文主要介绍基于扫描电子显微镜(SEM)纳米级实用化电子束曝光机系统的研究内容、主要技术指标及曝光工艺实验的结果....
[期刊论文] 作者：初明璋,顾文琪,张福安,彭开武,时东霞,
来源：微细加工技术 年份：2002
主要介绍了电子束缩小投影曝光机的工作原理及其特点,针对在原理论证机上做的实验,着重分析讨论了聚光镜电流的大小对曝光结果的影响....
[期刊论文] 作者：王谦,许广路,薛虹,殷伯华,初明璋,方光荣,
来源：现代科学仪器 年份：2016
摘要为了满足工业原子力显微镜高效检测的要求，提出了一种粗细相结合的自动进针方法。设计了快速的粗进针和慢速的精细进针二级进针控制系统硬件结构。针对工业半导体样品的特......
[期刊论文] 作者：杨洁,韩立,陈代谢,初明璋,林云生,刘俊标,,
来源：现代科学仪器 年份：2011
工业上的应用和材料学的发展客观上要求对材料的力学性能测试进行实时动态观测。本研究部自主研发出了配合扫描电子显微镜的原位拉伸试验系统,成功地实现了对拉伸试验全过程...
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