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[期刊论文] 作者：华卫群,
来源：创新时代 年份：2018
创新是一个民族进步的灵魂，是一个国家兴旺发达的不竭动力。21世纪是创新教育的世纪，具有创新精神是知识经济时代人才最为宝贵的财富。 一、体育教师应富有创新精神 陶行知先生说：“处处是创新之地，天天是创新之时，人人是创新之力。”体育教师要善于识别、发现......
[期刊论文] 作者：华卫群,刘维维,
来源：电子与封装 年份：2020
文中主要介绍了等离子干法蚀刻工艺的原理和主要的蚀刻参数。采用正交实验的方式,对影响蚀刻速率、蚀刻均匀性以及选择比的蚀刻参数进行分析和优化,最终确定最佳工艺参数,使...
[期刊论文] 作者：王铁坤,华卫群,
来源：第五届中国国际(北京)洁净技术论坛 年份：2002
本文针对IC工艺用超纯水,从运行管理角度,以实验方法考察了超纯水制造过程中TOC(总有机炭)的若干问题.通过在线测量一次纯水、二次纯水的TOC含量和相应的数据统计,评估了水平...
[会议论文] 作者：王先益,华卫群,
来源：全国老龄产业理论与政策研讨会 年份：2004
随着经济的发展,物质生活水平的提高,老年人的生活方式和消费观念与以往相比有了较大的变化,从过去仅满足于较低层次的吃穿等生存消费,发展到追求满足心理需求的休闲、教育、...
[期刊论文] 作者：华卫群,周家万,尤春,
来源：电子与封装 年份：2020
随着大规模集成电路技术的飞速发展,掩模分辨率增强技术变得越来越重要。介绍了掩模分辨率增强技术中的相移掩模技术、光学邻近效应修正技术和光源掩模协同优化技术,重点介绍...
[期刊论文] 作者：华卫群,王铁坤,蔡蕾,
来源：电子与封装 年份：2005
本文根据运行管理的实践体会,讨论了空调净化厂房运行管理中节能的若干问题.通过空气状态参数分析及其与空调能耗相互关系的探讨,在洁净空调厂房运行中采取了适当的节能措施,...
[期刊论文] 作者：华卫群,尤春,薛文卿,
来源：电子与封装 年份：2021
高精密量测机台在量测过程中,温度波动和支撑地板震动均会影响量测精度。选用合适的量测设备、工件台材料以减弱温度波动的影响,选用装备减震功能的部件以提高量测工件台的平稳性,采用气悬浮移动工作平台减少摩擦力以提升量测精度。量测设备工件台结构和零部件......
[期刊论文] 作者：袁卓颖,华卫群,刘浩,
来源：电子与封装 年份：2021
主要介绍了激光直写的工艺原理和主要的直写参数,通过试验的方式,对0.25μm掩模制造中的激光直写参数束斑剂量、焦距、每束光的剂量、光束一致性以及拼接进行分析和优化,最终确定最佳的工艺参数,使得掩模条宽(CD)均匀性提高近20 nm。......
[期刊论文] 作者：王铁坤,华卫群,孙勇山,,
来源：电子与封装 年份：2002
本文介绍了深亚微米工艺用二次超纯水系统主要工艺流程及其各部分的作用.比较了一次纯水电阻率,二次纯水电阻率及二次纯水TOC含量的相互关系.讨论了半导体集成电路制造工艺对...
[期刊论文] 作者：魏晓群,谢旦艳,华卫群,
来源：电子与封装 年份：2021
掩模可制造性规则检查(Manufacturing Rule Check,MRC)指在完成掩模数据处理后对最终制版图形进行一次规则检查,按设定的制造规则抓出不符合制造规范的图形。数据处理人员需要对抓出的图形进行人工筛选后告知客户。通常由于抓取出的图形种类多、数量多,MRC运行......
[期刊论文] 作者：殷继国,叶忠山,王猛,贺富春,华卫群,
来源：中国防痨杂志 年份：2002
湖北省随州市世行贷款结核病控制项目(以下简称项目)于1992年4月启动,至1998年12月已实施7年,现将7年实施效果报告如下.资料与方法本文资料来源于各年"项目"季报表,结核病人...
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