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[期刊论文] 作者：傅有文,何伟全,樊仕绪,卓建会,肖德柠,
来源：半导体光电 年份：1988
本文介绍一种将磷吸杂、缺陷吸杂和多晶硅吸杂等吸杂机理综合应用的多重吸杂技术。In this paper, we introduce a multi-gettering technique that combines the mechanis...
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