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[期刊论文] 作者：王驰, 卢伊伶,,
来源：信息记录材料 年份：2019
小型化和高效散热是综合电子系统设计的两个主要需求。基于硅基MEMS工艺的射频电路具有集成度高、一致性好的特点;基于氮化铝基板工艺的射频电路具有高散热效率、易于多层布...
[期刊论文] 作者：王驰, 卢伊伶, 祝大龙, 刘德喜,,
来源：遥测遥控 年份：2019
基于硅基MEMS工艺的宽带射频收发微系统在实现武器装备小型化的过程中具有十分重要的意义。将GaAs多功能芯片、MEMS滤波器等多种工艺制成的射频器件集成到硅晶圆上,利用TSV及...
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