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[期刊论文] 作者：狄韦宇, 郑永军, 卫银杰,,
来源：中国计量大学学报 年份：2019
目的:通过研究光强光谱提取相应特征值作为化学机械抛光(CMP)终点监测判定方法。方法:首先由QE PRO光谱仪测得光强光谱,再通过移动平均滤波对信号进行滤波降噪,从处理后的信...
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