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[期刊论文] 作者:叶超,宁兆元,甘肇强, 来源:苏州大学学报(自然科学) 年份:1996
本文描述了永磁非对称轴向二极场的结构和形态,这种磁场用于替代同轴线圈提供微波ECR等离子体CVD系统所需的磁场;简要分析了磁场对等离子体特性的影响。This paper describ...
[期刊论文] 作者:叶超,宁兆元,甘肇强, 来源:核聚变与等离子体物理 年份:1995
本实验设计了永磁非对称轴向二极场MWECR-CVD系统,并对系统的等离子体特性进行了研究,获得了等离子体空间分布的图像以及气压对等离子体参数的影响。In this experiment, a permanent......
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