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[学位论文] 作者：司美菊,
来源： 年份：2012
随着高新技术的迅速发展，对铁电材料的电学性能与工作温度的要求越来越高。传统的铅基铁电材料尽管性能优越，但是由于主成分铅有毒，不符合环境友好材料发展的趋势，使得新型无铅铁电陶瓷材料的研究和开发成为近些年电子陶瓷材料领域的热点之一。BiAlO3由于其较高的居......
[期刊论文] 作者：司美菊,
来源：数码设计（下） 年份：2018
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[期刊论文] 作者：金成飞,司美菊,徐阳,杜波,陈云祥,,
来源：压电与声光 年份：2016
采用磁控溅射法制备了AlN薄膜并研究了射频（RF）等离子清洗对AlN薄膜结晶取向度的影响,实验表明,RF等离子清洗基片3min后AlN薄膜c轴取向摇摆曲线半峰宽达到1.3°;通过Mo薄膜...
[期刊论文] 作者：唐代华,金中,司美菊,罗旋升,谢东峰,谢晓,
来源：压电与声光 年份：2021
通过对声表面波滤波器晶圆级封装结构的探讨,针对在模组封装时器件塌陷成因进行了有限元仿真模型研究,模拟了不同模压量对器件中腔体最大的塌陷量位置。经过实验验证,提出了...
[期刊论文] 作者：彭华东, 徐阳, 张永川, 杜波, 司美菊, 蒋欣, 赵明,,
来源：压电与声光 年份：2019
采用中频磁控溅射法,在硅基上制备了X波段薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器用AlN压电薄膜。对AlN薄膜进行了分析表征,结果表明,AlN压电薄膜具有良好的(002)面择优取向,摇摆曲线...
[期刊论文] 作者：彭兴文, 徐阳, 杜波, 张永川, 司美菊, 刘娅, 何西良,
来源：压电与声光 年份：2018
薄膜体声波器件具有体积小及性能高等优势,相关产品已被广泛应用于移动通信市场。薄膜体声波谐振器(FBAR)电极层和压电层等声学层的厚度、材料是影响谐振频率的主要因素。该...
[期刊论文] 作者：彭兴文, 徐阳, 杜波, 张永川, 司美菊, 刘娅, 何西良,,
来源：压电与声光 年份：2018
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[期刊论文] 作者：朱昌安, 周勇, 穆晓华, 郑泽渔, 徐阳, 司美菊, 田亚,
来源：压电与声光 年份：2015
介绍了工作频率在约为10GHz的UHF频段,可产生梳谱信号的高次谐波声体波谐振器(HBAR)的原理、设计和制作工艺方法。设计了Au/Cr/ZnO/Au/Cr/YAG/Cr/Au/ZnO/Cr/Au双端结构的谐振...
[期刊论文] 作者：朱昌安, 周勇, 穆晓华, 郑泽渔, 徐阳, 司美菊, 田亚睿,,
来源：压电与声光 年份：2015
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[期刊论文] 作者：司美菊,杜波,田本朗,徐阳,金成飞,蒋欣,江洪敏,马晋毅,,
来源：压电与声光 年份：2016
该文研究了相关工艺参数对二氟化氙（XeF2）干法释放多晶硅的释放速率的影响。结果表明,对于薄膜体声波谐振器（FBAR）悬臂结构,腔室压力不变时,随着载气N2流量的增大,刻蚀速率先增加......
[期刊论文] 作者：杜波,马晋毅,蒋欣,江洪敏,徐阳,田本朗,金成飞,司美菊,,
来源：压电与声光 年份：2016
为了抑制薄膜体声波谐振器的寄生谐振,建立了薄膜体声波谐振器的二、三维有限元模型。通过频率响应仿真,分析了不同电极结构的谐振器在中心频率处的振动位移分布情况和频率响...
[期刊论文] 作者：兰伟豪,徐阳,张永川,蒋平英,司美菊,刘娅,卢丹丹,何西良,
来源：人工晶体学报 年份：2020
薄膜体声波谐振器(FBAR)具有体积小、工作频段高、性能强等优势,在滤波器领域有广泛的应用前景,其最核心的功能层为压电薄膜。本文采用磁控溅射方法,在6英寸硅片上制备了AlSc...
[期刊论文] 作者：陈运祥,董加和,司美菊,李洪平,赵雪梅,张永川,于新晓,刘善,
来源：压电与声光 年份：2015
介绍了FBAR用复合氮化铝（AlN）压电薄膜的制作方法。采用双S枪中频（40kHz）磁控反应性溅射铝靶制作出了AlN压电薄膜。采用双S枪直流（DC）磁控溅射钼（Mo）靶制作出了Mo电极薄膜。对AlN压电......
[期刊论文] 作者：陈运祥,董加和,司美菊,李洪平,赵雪梅,张永川,于新晓,刘善群,,
来源：压电与声光 年份：2015
介绍了FBAR用复合氮化铝(AlN)压电薄膜的制作方法。采用双S枪中频(40kHz)磁控反应性溅射铝靶制作出了AlN压电薄膜。采用双S枪直流(DC)磁控溅射钼(Mo)靶制作出了Mo电极薄膜。...
[期刊论文] 作者：唐小龙,刘娅,蒋平英,张必壮,徐瑞豪,刘繁,张建清,司美菊,吕俊豪,杜雪松,
来源：压电与声光 年份：2022
该文设计了一款2.4 GHz WiFi频段（2 401～2 483 MHz）薄膜体声波谐振器（FBAR）滤波器。采用一维Mason电路模型，在ADS中搭建了阶梯形滤波器电路；在HFSS中建立了封装结构和测试电路有限元电磁模型，并在ADS中完成了联合仿真设计。通过微机电系统（MEMS）工艺制备与测试，滤波器在2 4......
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