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[期刊论文] 作者:后晓准,孙求实, 来源:环境化学 年份:1989
四种有机硅单体,即乙烯基三甲基硅烷(VTMS)、乙烯基甲基二乙基硅烷(VMDES)、八甲基环四硅氧烷(D_4)和六甲基二硅氧烷(M_2),在13.56MHz钟罩式等离子体发生器中,分别进行等离子...
[期刊论文] 作者:后晓准,孙求实,毕经京,施艳荞, 来源:环境化学 年份:1989
四种有机硅单体,即乙烯基三甲基硅烷(VTMS)、乙烯基甲基二乙基硅烷(VMDES)、八甲基环四硅氧烷(D_4)和六甲基二硅氧烷(M_2),在13.56MHz钟罩式等离子体发生器中,分别进行等离子...
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