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[期刊论文] 作者：吴梓岚,万军,马吉恩,蔡晋辉,徐雅,李轶凡,兰丽丽,
来源：真空科学与技术学报 年份：2020
目前批量原子层沉积反应器存在气体扩散不均、腔室利用率低、反应副产物残余等缺点，影响了沉积薄膜的质量，降低了生产效率。针对以上问题，利用Fluent软件建立起批量原子层沉积反应器的仿真模型，首先分析了反应器添加不同结构尺寸的匀气挡板对气体速度、浓度以及扩散......
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