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[学位论文] 作者：吴越颖,
来源：北京工业大学 年份：2004
a-Si:H薄膜已经广泛应用于太阳能电池,而且作为薄膜场效应管在电子摄像,大面积平板显示器等领域的应用也有很大进展.a-Si:H的沉积速率和品质很大程度上受到制备工艺的影响.为...
[学位论文] 作者：吴越颖,
来源：北京工业大学 年份：2004
...
[期刊论文] 作者：胡跃辉,吴越颖,陈光华,王青,张文理,阴生毅,
来源：半导体学报 年份：2004
为了定量地得到磁场梯度对a-Si：H薄膜沉积速率的影响，对单磁场线圈分散场MwECRCVD系统等离子体室和沉积室中用三种方法得到的磁场形貌进行了研究．通过洛伦兹拟合的方法定量地得......
[期刊论文] 作者：胡跃辉,吴越颖,陈光华,王青,张文理,阴生毅,
来源：半导体学报 年份：2004
为了定量地得到磁场梯度对a Si∶H薄膜沉积速率的影响 ,对单磁场线圈分散场MWECRCVD系统等离子体室和沉积室中用三种方法得到的磁场形貌进行了研究 .通过洛伦兹拟合的方法定...
[会议论文] 作者：阴生毅,陈光华,宋雪梅,胡跃辉,吴越颖,王青,刘毅,
来源：2003年中国太阳能学会学术年会 年份：2003
本文介绍了一种在沉积室样品台下方放置永磁体单元,以提高微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积速度的新方法.实验表明,采用这一方法可使沉积a-Si:H薄膜的速度提高一倍以上....
[期刊论文] 作者：胡跃辉,阴生毅,陈光华,吴越颖,周小明,周健儿,王青,张文理,
来源：物理学报 年份：2004
分别研究了磁场线圈电流为 115 2和 137 7A以及 137 7A并在加热台下加放SmCo永磁体的方法 ,来改变单磁场线圈分散场MWECRCVD系统等离子体室及沉积室磁场形貌 .用洛伦兹拟合...
[会议论文] 作者：刘毅,宋雪梅,阴生毅,吴越颖,胡跃辉,邓金祥,陈光华,
来源：2003年中国太阳能学会学术年会 年份：2003
Fourier红外透射(FTIR)谱技术和透射-反射光谱实验是研究氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜中氢含量和光学带隙等微结构最有效的手段.样品用微波电子回旋共振化学气相沉积(MWECR CVD)方法制备,通过合理的基线把FTIR透过率谱转换成吸收谱,得到薄膜的氢含量及组态信息,并分......
[期刊论文] 作者：殷生毅,陈光华,吴越颖,王青,刘毅,张文理,宋雪梅,邓金祥,
来源：半导体学报 年份：2004
为了简化多电磁线圈MWECR—CVD装置，提出将单个电磁线圈和一个永磁体单元组合，以形成所需的新型磁场，这一磁场可使等离子体集聚于样片台上方，显著提高了等离子体的能量密度，应用这......
[期刊论文] 作者：荣延栋,阴生毅,胡跃辉,吴越颖,朱秀红,周怀恩,张文理,邓金,
来源：功能材料 年份：2004
采用热丝辅助MWECR-CVD系统制备出了a-Si:H薄膜.应用傅立叶红外仪测量了薄膜的红外谱,用共面蒸铝电极法测量了薄膜的光电导.通过比较A样品(加入热丝)和B样品(未加热丝),得出...
[期刊论文] 作者：荣延栋,阴生毅,胡跃辉,吴越颖,朱秀红,周怀恩,张文理,邓金,
来源：功能材料 年份：2004
采用热丝辅助MWECR-CVD系统制备出了a-Si:H薄膜.应用傅立叶红外仪测量了薄膜的红外谱,用共面蒸铝电极法测量了薄膜的光电导.通过比较A样品(加入热丝)和B样品(未加热丝),得出...
[期刊论文] 作者：胡跃辉,陈光华,吴越颖,阴生毅,高卓,王青,宋雪梅,邓金祥,
来源：中国科学G辑:物理学、力学、天文学 年份：2004
研究了用氢化非晶硅薄膜红外透射谱的摇摆模和伸缩模计算氢含量的两种方法, 分析了这两种方法在计算薄膜氢含量时引起差别的原因. 理论推导及实验结果表明, 若将SiH2和(SiH2)...
[期刊论文] 作者：吴越颖,胡跃辉,阴生毅,荣延栋,王青,高卓,李瀛,宋雪梅,陈,
来源：功能材料 年份：2004
我们用热丝辅助MW ECRCVD系统,在热丝温度分别为0、1350、1400、1450、1500、1600和1700℃时制备出a-Si:H薄膜.通过膜厚测定,红外光谱分析光、暗电导测量等手段,分析了其沉积...
[期刊论文] 作者：吴越颖,胡跃辉,阴生毅,荣延栋,王青,高卓,李瀛,宋雪梅,陈,
来源：功能材料 年份：2004
我们用热丝辅助MW ECRCVD系统,在热丝温度分别为0、1350、1400、1450、1500、1600和1700℃时制备出a-Si:H薄膜.通过膜厚测定,红外光谱分析光、暗电导测量等手段,分析了其沉积...
[期刊论文] 作者：吴越颖，胡跃辉，阴生毅，荣延栋，王青，高卓，李瀛，宋雪梅，陈光华，WUYue-ying，HUYue-hui，YINSheng-yi，RONGYan-dong，WANGQing，GAOZhuo，LIYing,
来源：城市道桥与防洪 年份：2004
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
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