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[期刊论文] 作者：周也鲁,钱振型,
来源：压电与声光 年份：1986
我们用等离子体阳极氧化的方法在铝表面生成厚度为40nm左右的氧化层,等离子体由射频辉光放电产生,阳极氧化时氧气压力为6.65Pa、两极间距离为18cm、直流偏压为35V,并测得氧化...
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