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[期刊论文] 作者：周保青,黄光周,于继荣,常天海,
来源：真空电子技术 年份：2002
高精度高性能的光学薄膜膜厚监控系统是制备密集波分复用滤光片的关键,本文提出了一种非1/4波长膜系监控膜厚的方法,该方法所采用的系统具有稳定性好、波长分辨率高等优点。...
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