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[会议论文] 作者：周晗[1]周福增[2]伏开虎[3]黄杰;陈琳;廖斌;张旭;,
来源：2014全国荷电粒子源、粒子束学术会议(中国电工技术学会第十五届全国电子束离子束学术年会、粒子加速器学会第十四届全国离子 年份：2014
对通过磁过滤阴极真空弧(FCVA)获得的高密度、高离化率的等离子体进行诊断.为研究C2H2气流量对磁过滤阴极弧产生的等离子体的影响,采用原子发射光谱(OES)法对FCVA沉积过程中...
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