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[期刊论文] 作者:周虎明, 来源:电子工业专用设备 年份:1996
本文就美国原GCA公司生产的DSW8500SE光刻机套精度的误差分类,产生误差的原因以及校正方法进行了详细的讨论,通过这些叙述旨在对设备维修人员和工艺操作人员能够更好地使用设备,提高设备的性......
[期刊论文] 作者:周虎明, 来源:电子工业专用设备 年份:2001
线宽控制是光刻质量的关键。以0.8~1.0μm IC电路生产为依据,讨论光刻机特性影响成像线宽的因素以及使用中的最佳调整。...
[期刊论文] 作者:周虎明, 来源:电子工业专用设备 年份:1996
本文着重介绍了国外几家著名公司具有代表性的亚微米IC CAD工具,同时提出选用时应考虑的问题,以供同仁们参考。...
[期刊论文] 作者:周虎明, 来源:电子工业专用设备 年份:1996
本文就美国原GCA公司生产的DSW8500SE光刻机套刻精度的误差分类,产生误差的原因以及校正方法进行了详细的讨论,通过这些叙述旨在对设备维修人员和工艺操作人员能够更好地使用设备,提高设备的......
[期刊论文] 作者:周虎明,韩隽, 来源:电子与封装 年份:2003
光刻机的匹配使用是半导体工艺大生产线上提高生产效率的一项重要措施.光刻机的匹配主要包括场镜误差的匹配和隔栅误差的匹配,如何调整相同型号光刻机的匹配使用将是本文论述...
[期刊论文] 作者:周虎明,范建, 来源:城市建设理论研究(电子版) 年份:2004
电能的运输关乎着一个国家的基本运行,其中输电线路作为向用户输送电能的桥梁,在电力系统中起很重要的作用。而线路设计中的路径选定、测量、排杆等方面对线路设计有很大影响。......
[期刊论文] 作者:范建 周虎明, 来源:城市建设理论研究 年份:2014
摘要:调度主要是负责保证电网的安全运行,而电网调度安全管理工作是电网安全可靠运行的决定因素,随着电网的改造和发展,电网技术装备水平也不断得到提高,电网调度人员必须提高自身的素质和业务水平,才能真正实现电网调度的安全运行。随着时代的经济的发展和时代的进步......
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