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[学位论文] 作者：周金赫,
来源：周金赫 年份：2020
扫描电化学显微镜（Scanning Electrochemical Microscopy,SECM）技术因为具有空间分辨率高、加工过程简单、加工成本低和工作模式多等优点,是微区加工的重要手段之一,特别是在半导体的微区加工领域显现出越来越重要的应用前景。然而,已有的采用SECM技术进行微区加......
[会议论文] 作者：周金赫,胡吉明,张鉴清,曹楚南,
来源：中国化学会第十七次全国电化学大会 年份：2013
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