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[期刊论文] 作者：卢耀文,吴端,陈春,杨传森,闫睿,梁明超,陈静,陈俊儒,王汐月,周青枝,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2020
为了解决真空计量检测对标准气体流量的需求,设计出(10-1 ～10-10)pa·m3/s的标准气体流量计.装置主要由定容法流量模块、流导法流量模块、供气与抽气模块、保温模块、控制模块...
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