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[期刊论文] 作者：哈哥顿哈洛,
来源：光学仪器 年份：2004
大规模生产高质量薄膜产品是今后镀膜设备需要解决的问题。等离子体或离子辅助镀膜现在被广泛应用于高质量膜系生产中并取得了良好的效果,但是主要由于等离子体或离子源的原...
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