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[学位论文] 作者：夏焕雄,,
来源：清华大学 年份：2015
薄膜沉积工艺是半导体制造、MEMS、表面工程等领域的基础工艺。等离子体增强化学气相沉积(PECVD)是重要的薄膜沉积工艺方法之一,其工艺系统涉及复杂多场耦合及化学反应过程。...
[期刊论文] 作者：夏焕雄,,
来源：金属加工（冷加工） 年份：2017
薄膜沉积工艺是半导体制造、MEMS、表面工程等领域的基础工艺.等离子体增强化学气相沉积(PECVD)是重要的薄膜沉积工艺方法之一,其工艺系统涉及复杂多场耦合及化学反应过程.目...
[期刊论文] 作者：夏焕雄,汪劲松,,
来源：金属加工(冷加工) 年份：2017
薄膜沉积工艺是半导体制造、MEMS、表面工程等领域的基础工艺。等离子体增强化学气相沉积（PECVD）是重要的薄膜沉积工艺方法之一，其工艺系统涉及复杂多场耦合及化学反应过程。...
[期刊论文] 作者：夏焕雄,向东,牟鹏,,
来源：机械工程学报 年份：2014
竖直式喷淋头布气系统在半导体工艺腔室类设备中广为采用,其布气均匀性是决定半导体工艺均匀性的关键因素之一。以布气均匀性为驱动,对竖直式喷淋头布气系统进行优化设计。在...
[期刊论文] 作者：夏焕雄,汪劲松,向东,,
来源：机械工程学报 年份：2017
薄膜沉积工艺是半导体制造、MEMS、表面工程等领域的基础工艺。等离子体增强化学气相沉积(PECVD)是重要的薄膜沉积工艺方法之一,其工艺系统涉及复杂多场耦合及化学反应过...
[期刊论文] 作者：孙树文,夏焕雄,田越,,
来源：中国现代教育装备 年份：2010
本文在介绍了平面2DOF双轨并联机构实验平台结构和功能的基础上,着重阐述了应用TMS320F2812-DSP芯片设计主控制器和用THB7128设计步进电机驱动器的方法,并详细介绍了上位机监...
[期刊论文] 作者：王伟,向东,杨为,夏焕雄,张瀚,,
来源：人工晶体学报 年份：2014
为确定某种新型刻蚀机最优的品圆与喷淋头问距（Gap），通过CFD仿真分析气体在不同Gap腔室内的物质输运分布，并结合乙醇环境下HF酸刻蚀SiO2工艺的物理化学过程，建立了刻蚀速率估算公......
[期刊论文] 作者：巩浩,刘检华,孙清超,夏焕雄,
来源：机械工程学报 年份：2021
当前,装配环节对精密机电产品装配精度和性能稳定性的保障作用正日益凸显.针对现有的以几何量控制为主的装配理论与方法,不能保障精密产品的装配精度及其性能稳定性的问题,提...
[期刊论文] 作者：杨旺,刘学平,夏焕雄,向东,牟鹏,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2016
反应腔室晶片表面温度分布是影响薄膜沉积均匀性的重要因素。本文以载有晶片的典型化学气相沉积反应腔室为研究对象,考虑了晶片与加热盘之间的微小间隙导致的低压下流固接触...
[期刊论文] 作者：刘检华,张志强,夏焕雄,巩浩,邵楠,
来源：机械工程学报 年份：2021
提高精度是机械制造学科永恒的追求目标之一,随着精密机电产品不断追求更高精度,装配精度分析的精确性要求也在不断提高,在此背景下,提出综合考虑表面形貌与受力变形的装配精...
[期刊论文] 作者：郭磊,刘检华,邢立华,袁倩,夏焕雄,
来源：北京理工大学学报 年份：2020
为解决满足高强度与轻量化要求的复杂框架类设备支架仿真模型不够精确的难题,通过在有限元分析设计的基础上,利用静力加载试验方法找出结构强度的薄弱环节,再建立结构力学模...
[期刊论文] 作者：夏焕雄,向东,牟鹏,姜崴,葛研,王丽丹,,
来源：人工晶体学报 年份：2012
等离子辅助化学气相沉积（PECVD）腔室的气流分布、温度分布是影响薄膜沉积工艺均匀性以及沉积速率的重要原因之一。本文对PECVD腔室气流建立连续流体和传热模型,研究了腔室内流...
[期刊论文] 作者：刘检华,任策,夏焕雄,敖晓辉,林圣享,
来源：北京理工大学学报 年份：2021
针对选区激光熔化工艺中残余应力造成的变形缺陷问题,介绍了一种基于有限元仿真的选区激光熔化工艺的结构变形补偿设计优化方法.以螺旋桨结构成型为例,首先建立了宏观尺度上基于有限元方法的热-力耦合仿真模型,然后分析了成型零件中的残余应力与变形分布规律,并......
[期刊论文] 作者：郭磊,刘检华,张佳朋,李夏禹,张秀敏,夏焕雄,
来源：中国机械工程 年份：2021
针对目前我国航天产品,尤其是航天精密机电产品的胶接装配技术研究不足的现状,介绍了航天胶接技术的应用类型,以及胶接技术在耐超高/低温性、高密封性、多功能性、高稳定性或低蠕变性、低挥发性等方面的应用特点。在此基础上总结分析了胶接装配的机理、关键工艺......
[期刊论文] 作者：夏焕雄,孙树文,姚益武,郭文增,张姗珊,王婕,,
来源：计算机测量与控制 年份：2011
针对传统的基于单一检测信号的火灾报警器易造成失判和误判以及条件参数固化的问题,设计了一种基于光强、烟雾离子、温度检测的智能火灾报警器;该报警器利用C8051F040单片机...
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