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[会议论文] 作者：吕少波, 李明, 姚红冉, 蔺增, 巴德纯,,
来源： 年份：2007
基于本中心RF500型镀膜机,采用流体动力学方法建立了一种自洽的无碰撞射频直流偏压等离子体鞘层动力学模型。模型中考虑了极板直流负偏压对离子运动的影响,这使得该模型能够...
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