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[会议论文] 作者：赵杨,赵冉,张海虎,果银虎,庞立斌,姜仔达,高雪松,许乐乐,陈玉龙,
来源：2014中国平板显示学术会议 年份：2014
本文研究了基板温度和水汽对直流磁控溅射法制备的IT0薄膜的光电特性的影响.IT0薄膜在低温成膜后,经过大气退火处理.通过降低成膜时反应腔体内的水汽分压或调节基板不同位置...
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