搜索筛选:
搜索耗时0.0755秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
发布年度:
[会议论文] 作者：姜文全[1]杜广煜[2]巴德纯[2]杨帆[3],
来源：中国真空学会2012学术交流会 年份：2012
基体-薄膜结构是微电子器件中的典型结构，尤其是金属薄膜已被广泛的应用到微电子器件上。金属薄膜在制备过程中产生的表面微裂纹对薄膜的力学性能有着较大的影响，并且表面......
相关搜索：
