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[期刊论文] 作者：王铁坤,华卫群,孙勇山,,
来源：电子与封装 年份：2002
本文介绍了深亚微米工艺用二次超纯水系统主要工艺流程及其各部分的作用.比较了一次纯水电阻率,二次纯水电阻率及二次纯水TOC含量的相互关系.讨论了半导体集成电路制造工艺对...
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