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[学位论文] 作者：宗登刚,,
来源：中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） 年份：2003
本论文利用纳米压入仪和改造的电光天平对微机械材料的力学特性进行了测量。用纳米压入法对(100)单晶硅及(110)单晶硅、多晶硅薄膜、干氧薄膜、湿氧薄膜、LTO薄膜、标准氮化...
[期刊论文] 作者：宗登刚,王钻开,陆德仁,王聪和,
来源：机械强度 年份：2003
用微机械悬桥法研究低应力氮化硅薄膜的力学性能.对符合弹性验则的微桥进行测试,在考虑衬底变形的基础上,利用最小二乘法对其载荷-挠度曲线进行拟合,得到低应力low pressure...
[期刊论文] 作者：宗登刚,王钻开,陆德仁,王聪和,陈刚,
来源：功能材料与器件学报 年份：2003
利用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究低应力LPCVD氮化硅薄膜的力学特性。通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形对挠度有贡献的微桥挠度解析表达式。...
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