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[会议论文] 作者：容幸福;高斌升;秦志钰;,
来源：中国北方焊接学术会议 年份：2000
该文研究了应用新型的超高真空等离子增强化学气相沉积(UHV-PECVD)复合系统沉积a-SiC:H薄膜及其特性。系统的真空度可达标10Torr以上。通过控制H对常规用混合气体(SiH+CH)的...
[会议论文] 作者：容幸福,高斌升,秦志钰,
来源：中国北方焊接学术会议 年份：2000
该文研究了应用新型的超高真空等离子增强化学气相沉积(UHV-PECVD)复合系统沉积a-SiC:H薄膜及其特性。系统的真空度可达标10Torr以上。通过控制H对常规用混合气体(SiH+CH)的稀释程度以及相应的CH比例，优化沉积工艺参数，制备出能带宽度范围变化较大的高质量非晶氢......
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