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[期刊论文] 作者：孙蓉,徐洮,寇冠涛,薛群基,
来源：无机材料学报 年份：2005
通过离子注入技术对单晶硅表面进行氩离子注入处理,利用纳米压痕仪及其附件研究了单晶硅表面在离子注入前、后的微观力学性能和变形机理,并用透射电子显微镜研究了改性层的微...
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