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[期刊论文] 作者:王荣,尚世琦,
来源:辽宁大学学报:自然科学版 年份:1994
本文介绍了用阳极氧化和化学剥层技术测定硅中硼扩散杂质分布的方法.给出了几种不同扩散气氛下硼扩散杂质在硅中分布的实验曲线.并与高斯杂质分布函数做了比较.发现高斯理论杂质......
[期刊论文] 作者:王荣,尚世琦,杨学昌,
来源:辽宁大学学报(自然科学版) 年份:1994
本文介绍了用阳极氧化和化学剥层技术测定硅中硼扩散杂质分布的方法.给出了几种不同扩散气氛下硼扩散杂质在硅中分布的实验曲线.并与高斯杂质分布函数做了比较.发现高斯理论杂质......
[期刊论文] 作者:孙玉芳,盛浩然,王中文,尚世琦,张文,胡延年,吕品,吴春瑜,
来源:辽宁大学学报(自然科学版) 年份:1997
本文采用线性扫描法测定未知掺杂MOS结构少子产生寿命空间分布,结果表明,本方法是简单准确的。...
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