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[期刊论文] 作者：康洪亮 张伟才 陈建跃 陶术鹤,
来源：中国科技博览 年份：2014
[摘 要]本文对硅片倒角过程中三个最重要的因素；磨轮转速、硅片转速和圈去除量一一进行了原理分析，并倒角机进行了试验得到了比较合理的组合方案。 [关键词]硅片；倒角；磨轮转速；硅片转速；圈去除量 中图分类号：TG303.04 文献标识码：A 文章编号：1009-914X（2014）35-0039......
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