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[期刊论文] 作者:仇华兴,孙仁君,张介乐,
来源:真空 年份:1998
本文主要介绍10-10Pa溅射离子泵的研制,提高极限真空和抽气速率的方法。This article describes the development of 10-10Pa sputtering ion pump to improve the ultimate vacuum...
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