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[学位论文] 作者：张揽宇,,
来源：广东工业大学 年份：2018
随着微电子制造封装装备性能的不断提高,其关键运动部件——运动平台的高速高加速度运动特性与精密定位性能已成为影响装备整机性能的关键因素之一。大行程高速运动与高精度...
[期刊论文] 作者：梁航, 高健, 黄义亮, 张揽宇,,
来源：半导体光电 年份：2004
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[期刊论文] 作者：黄特生,高健,周志强,张揽宇,陈小国,,
来源：组合机床与自动化加工技术 年份：2015
在分析宏微复合驱动技术的基础上对高速高精度定位的宏微复合运动平台进行了研究,并研制了基于音圈电机驱动和压电陶瓷驱动的宏微复合运动平台。该平台的宏运动由音圈电机驱...
[期刊论文] 作者：张金迪, 高健, 谭宇韬, 张揽宇, 赵光同, 万宇,,
来源：制造技术与机床 年份：2019
围绕微电子精密制造封装装备的高性能要求,在宏微复合定位技术的基础上,提出一种新型宏微复合精密定位平台及其精密定位方法。首先利用ADAMS/view对平台进行动力学分析与仿真...
[期刊论文] 作者：张金迪, 高健, 钟耿君, 张揽宇, 王晓亮, 王佳印,,
来源：现代制造工程 年份：2019
针对集成电路制造、超精密检测仪器及微机电系统加工制造等领域对大行程、多自由度、高速及高精度运动平台日益迫切的需求,提出一种新型大行程三自由度宏微运动平台。该平台...
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