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[会议论文] 作者：彭泳卿;陈青松;邹江波;,
来源：中国仪器仪表学会2010年学术产业大会 年份：2010
本文从工程实际出发，推导了适合于描述加速度传感器中敏感电容极板上压力分布的极坐标Reynolds方程，并给出了带阻尼孔的压膜阻尼计算公式。同时本文建立了考虑阻尼孔影响和移动......
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