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[期刊论文] 作者：王学波,戴根财,荣廷文,徐至中,
来源：半导体技术 年份：1980
半导体硅片的清洗工艺是半导体器件生产中最关键的工艺之一,它对器件的特性及其可靠性有着决定性的作用.迄今为止,在半导体器件生产工艺中几乎全部都使用具有强烈腐蚀性...
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