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[学位论文] 作者:曹芒,, 来源: 年份:2012
我市市政府为了提高企业工作效率和管理水平,从而实现市政府大楼内部管理科学化、信息化、现代化和自动化的目标,想要实施实现市政府大楼智能卡一卡通的系统工程;通过建立该信息......
[期刊论文] 作者:王林,曹芒, 来源:光学精密工程 年份:1998
介绍扫描X射线干涉仪在当前纳米测量技术中的重要意义,阐述了该技术的基本原理,全面介绍发国外在该领域的研究现状,并对影响纳米影响的扫描X射线干涉技术的主要因素进行了分析。......
[期刊论文] 作者:梁嵘,曹芒, 来源:光电子.激光 年份:1998
软X射线激光全息术采用短波长X射线激光光源,从而可获得空间分辨率很高的三维全息图,但目前它还存在许多问题。用计算机来模拟仿真提供了一种有力手段。本文采用方块、英文字母、......
[期刊论文] 作者:曹芒,李达成, 来源:现代计量测试 年份:1997
本文介绍了X射线显微术、X射线激光全息及用晶体晶格作为长度标准的X射线干涉测量术在纳米探测中的应用 。...
[期刊论文] 作者:曹芒,李达成, 来源:计量学报 年份:1995
研制出一种采用激光扫描与CCD探测系统的大型工件平行度、垂直度测量仪,它以稳定的准直激光束为测量基线,配以回转轴系,旋转五角棱镜扫出互相平行或垂直的基准平面,将其与被测大型工......
[会议论文] 作者:曹芒,李达成, 来源:中国计量测试学会几何量专业委员会学术研讨会 年份:1995
该文介绍了X射线显微术、X射线激光全息术及用晶格作为长度标准的X射线干涉测量术在纳米探测中的应用。...
[期刊论文] 作者:王林,曹芒,李达成, 来源:光学技术 年份:1999
要实现X射线干涉测量,关键是Moire条纹要有良好的对比度,接收信号要有足够的强度。影响Moire条纹对比度及信号强度的因素很多,仅对通过优化干涉仪中晶片的尺寸实现Moire条纹高对比度及信号高强度......
[期刊论文] 作者:王林,李达成,曹芒, 来源:仪器仪表学报 年份:2000
目前国际上X射线干涉仪所采用的微动工作台均采用对称式柔性铰链结构,其缺点是侧滑角大,严重影响干涉信号的对比度,很容易产生干涉条纹的记数误差.为此提出了非对称结构微动...
[会议论文] 作者:郝群;李达成;曹芒;, 来源:全国计量测试学术大会 年份:1998
提出并实现了应用半导体激光器、单模光纤与位相板相结合的准直技术和面阵CCD作为接收器的测量大型工件面间平行度、垂直度的测量方案,采用准直光束通过位相板后的衍射图样中心作......
[会议论文] 作者:叶岗;曹芒;李达成;, 来源:中国计量测试学会几何量专业委员会1990年全国年会 年份:1990
该文介绍了一种能对大外径绝对值进行非接触测量的测量方法及系统。该系统瞄准工件外径的长时间稳定性为±10μm左右,测量100mm以内的大外径变化量的精度在±20μm左右。该测...
[期刊论文] 作者:王林,李达成,曹芒, 来源:光电工程 年份:1999
X 射线干涉纳米测量系统要求分析器的俯仰角为10- 8rad量级,侧滑角为10- 6rad量级,为此设计了对称式高精度微动工作台,并利用有限元分析软件对设计的结构形式进行了分析,旨在找出影响其性能参数......
[期刊论文] 作者:郝群,李达成,曹芒, 来源:光学技术 年份:1999
本文介绍了在半导体激光光纤与位相板相结合的准直情况下,利用线阵CCD探测器测量大型工件形位误差遇到的光强变化而引起测量误差的问题,并对用线阵CCD进行衍射信号测量的原理和特点作......
[期刊论文] 作者:王林,曹芒,李达成, 来源:光学技术 年份:1998
结合X射线干涉的基本特点,介绍了X射线干涉仪的几种基本形式。阐述了X射线干涉测量技术在纳米长度测量、小角度测量、SPM的定标以及在其它测量领域内的最新进展,并对X射线干涉测量技术......
[期刊论文] 作者:武勇军,李达成,曹芒,, 来源:光学仪器 年份:1993
分析了半导体激光调频干涉仪的测量原理,介绍了几种主要应用。...
[期刊论文] 作者:赵洪志,李达成,曹芒, 来源:光学技术 年份:1997
针对用于磨床加工的光外差表面粗糙度在线干涉测量仪,文中介绍了整机的信号处理系统,着重讨论了两项关键技术。即宽动态范围测量信号的自动控制和高精度动态相位测量,系统的测量......
[期刊论文] 作者:赵洪志,李达成,曹芒, 来源:光电工程 年份:1999
介绍了用于磨床加工的光外差表面粗糙度在线干涉测量仪整机的信号处理系统,着重讨论了其中的两项关键技术,即利用负反馈构成的宽动态范围测量信号的自动电压控制以及依据计大数......
[期刊论文] 作者:武勇军,李达成,曹芒,, 来源:计量学报 年份:1996
提出一种双干涉仪绝对距离测量方法,利用参考干涉仪的误差补偿作用,有效地抑制了激光器光学特性相关误差源对外腔半导体激光器线性调频绝对距离干涉测量系统的影响,提高了测...
[期刊论文] 作者:张孝棣,曹芒,李达成, 来源:计量学报 年份:1983
本文以Vikram等人提出的方法为基础,提出一种测量小于散斑直径的小位移的新方法,使测量范围由一维扩展至二维。 采用预加位移多次曝光的方法,将对小位移的测量转为对散斑照片...
[期刊论文] 作者:武勇军,李达成,曹芒, 来源:仪器仪表学报 年份:1996
一种新型绝对距离干涉测量仪的研究武勇军,李达成,曹芒(清华大学精密仪器系)0引言高精度、大尺寸、无导轨绝对距离测量是现代大型精密机械加工工业中一个迫切需要解决的问题,至今尚......
[期刊论文] 作者:赵洪志,李达成,曹芒, 来源:激光与红外 年份:1997
结合用于磨床加工的光外差表面粗糙度在线干涉测量仪,文中介绍了高精度动态相位计的设计与实现。依据相位测量和整数周期计数相结合的原理,不仅提高了测量精度,而且将测量范围得......
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