搜索筛选:
搜索耗时0.0403秒,为你在为你在23,761,000篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
发布年度:
[学位论文] 作者：朴颖华,,
来源：复旦大学 年份：2012
随着CMOS制造技术的进步,与之对应的自对准硅化物(SALICIDE)的材料和工艺也在不断发展和创新。工业界先后采用二硅化钛、二硅化钴和硅化镍作为硅化物材料,但是它们都有不足之...
相关搜索：
