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[会议论文] 作者：李剑白[1]王呜[2]肖韶荣[2]赵安庆[1]殷爱菡[1]张小林[1]李小芸[1],
来源：第四届全国无损检测新技术暨第九届激光检测技术学术会议 年份：1998
该文叙述了激光光杠杆式原子力显微镜（AFM）的基本原理及主要性能，提出，用AFM测试研究光学和超光滑表面的微轮廓，可检测表面原子和分子量级的缺陷，得到微轮廓的真实图形，层析图及空间......
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