搜索筛选:
搜索耗时5.0576秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：李建明 路文明,
来源：锦绣·中旬刊 年份：2021
摘要：基于硅基半导体芯片的微电子制造技术备受关注。近年来，受瓦森纳协议的限制，以美国为首的西方国家对中国半导体产业进行了限制，使得该产业的发展举步维艰。化学技术在微电子制造中起着极其重要的作用，进一步加强对芯片制备技术中化学反应的认识，对工艺升级和优化......
相关搜索：
