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[期刊论文] 作者:杨筱琴,斯崇奎,李锡芬, 来源:半导体技术 年份:1984
现在多晶硅材料的直接运用越来越多,因而对多晶硅材料的研究是十分有兴趣的课题之一.从高纯多晶硅原料的生产、多晶硅薄膜的CVD沉积,直到多晶硅太阳电池的发展,导致了人们对...
[期刊论文] 作者:斯崇奎,顾永明,李锡芬, 来源:半导体技术 年份:1980
晶体在固态器件中的日益广泛而重要的应用是与其各向异性的特征分不开的,准确、精密的定向则是器件工艺中重要的一环.晶体的光学定向法是在晶体的实际定向工作中应用得最普...
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