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[期刊论文] 作者：文书堂,姚鹏,卢景霄,李云居,李维强,魏长春,谷锦华,杨仕俄,
来源：四川大学学报：自然科学版 年份：2009
较为系统的研究了甚高频化学气相沉积在高压高功率下生长的微晶硅薄膜．给出了功率密度-气体流量和压强-功率密度的二维相图．用朗缪尔探针测出薄膜沉积时等离子体内部电子温度，并......
[期刊论文] 作者：文书堂,姚鹏,卢景霄,李云居,李维强,魏长春,谷锦华,杨仕俄,郭学军,高哲,赵尚丽,,
来源：四川大学学报(自然科学版) 年份：2009
较为系统的研究了甚高频化学气相沉积在高压高功率下生长的微晶硅薄膜.给出了功率密度-气体流量和压强-功率密度的二维相图.用朗缪尔探针测出薄膜沉积时等离子体内部电子温度...
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