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[期刊论文] 作者:杨存安,,
来源:电子工艺技术 年份:1982
离子探针是在探针技术和质谱仪的基础上发展起来的较为新型的仪器。它可以分析所有固体且样品制备简单,检测灵敏度高(PPm—PPb 范围内),可进行薄表面层的分析、深度分析和微...
[期刊论文] 作者:杨存安,
来源:质谱学报 年份:1990
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[期刊论文] 作者:杨存安,王永安,
来源:质谱学报 年份:1990
一、前言六十年代初,为实现国家科学技术十二年发展规划,要求对半导体材料、高纯金属及高纯物质进行研制和测定,并要建立有关的生产厂,这就迫切需要采用火花源质谱法进行检...
[期刊论文] 作者:高秀林,彭必先,杨存安,,
来源:明胶科学与技术 年份:1982
1.引言离子探针近年来已逐步被人们所熟悉,它是在电子探针和双聚焦质谱仪的基础上发展起来的较为新型的仪器。它和电子探针一样,能作微区分析及毫微米的表面分析,又其有双聚...
[期刊论文] 作者:王化文,杨存安,王乃铸,顾香春,
来源:半导体技术 年份:1988
在集成电路的产生过程中,清洗工艺是很重要的.清洗的好坏直接影响生产的成败,所以生产中迫切需要有检测清洗质量的方法.可惜至今没有直接检测清洗后硅片质量的手段.近年来,表...
[期刊论文] 作者:张承佐rrrrrrrrrrn,张兆祥rrrrrrrrrrn,任华巽rrrrrrrrrrn,杨存安,
来源:北京大学学报(自然科学) 年份:1964
一、引言 射频质谱计是测量真空系统中混合气体成分及含量的工具,因此也可以作为真空计使用。 自从1950年Bennett发明了第一个射频质谱计起,到现今有许多人进行了研究工作,...
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