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[期刊论文] 作者:杨植溪,,
来源:光学仪器 年份:1986
本文介绍了一种检查半导体零件硅片、掩模的新型检查显微镜的光学系统。物镜采用无限远共轭距离的平视场物镜,并具有透射、反射照明系统,微分干涉相衬装置,快速变换明、暗视...
[期刊论文] 作者:徐福候,杨植溪,王琛,,
来源:光学仪器 年份:1986
本文叙述了一种三片型F.θ透镜,其视场角接近90°,相对孔径为1:27。波长4880A和5145A,分辨率在整个视场内均达到30l/mm。文字畸变小于1%。This article describes a three-p...
[期刊论文] 作者:顾培森,徐鸿祥,于萍,杨植溪,,
来源:光学仪器 年份:1990
本文介绍了VAX机上使用的光学数据库及其应用程序的主要功能。...
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