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[学位论文] 作者：柳林刚,,
来源：电子科技大学 年份：2017
基于MEMS技术的压力传感器广泛用于压力、高度、加速度、液体的流量、流速等的测量。压阻式和电容式MEMS压力传感器是两种常见类型的压力传感器。与压阻式压力传感器相比,电...
[期刊论文] 作者：柳林刚,李荣宽,赵路坦,,
来源：微电子学与计算机 年份：2016
提出了新的一种用于MEMS压力传感器的电容数字转换方法.与传统的将电容值转换成电压值的方法不同,该方法是将微弱电容信号转换为时间间隔,然后通过计数器量化、数字滤波器处...
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