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[期刊论文] 作者:梁柔,徐雪波,鲍明东,江利,,
来源:兵器材料科学与工程 年份:2011
用闭合场非平衡磁控溅射离子镀(CFUBMIP)系统沉积制备CrN硬质薄膜,通过调节偏压改变薄膜沉积过程中离子轰击能量。采用XRD分析薄膜的相结构,结合SEM和AFM对薄膜表面形貌和截面...
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