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[期刊论文] 作者：欧阳美龙,,
来源：电子测试 年份：2017
本文提出的方法是在相位测量法的基础上,利用神经网络建立折叠相位与高度的映射关系,不需要严格搭建系统,也不需要展开相位及标定系统,不必考虑由系统的非线性所带来的误差。测量结果的精度在十个微米左右,标准方差在一个微米以下,是一种快速有效且准确稳定的机......
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