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[期刊论文] 作者:刘婵, 王东伟, 李晓敏, 武英桐, 黄美东,, 来源:真空 年份:2004
通过直流磁控溅射技术在基体(硅片、高速钢、钢片)上沉积碳膜。保持其它工艺参数基本恒定,探究薄膜在100V-400V脉冲负偏压下,结构和性能的变化规律。实验结果表明,这种碳膜为...
[期刊论文] 作者:白睿,武英桐,李晓敏,宋鸿佳,黄美东, 来源:电镀与精饰 年份:2020
通过磁控溅射法在玻璃基底上制备氧化钒薄膜样品。由于沉积温度较低,薄膜样品呈非晶态且不透明。为使薄膜样品晶化,并有效抑制其过度氧化,将样品在管式真空炉中进行退火处理...
[期刊论文] 作者:郭云鹏,白睿,李晓敏,武英桐,黄美东, 来源:电镀与精饰 年份:2019
利用FJL560CI2型磁控溅射仪制备了铜铝共掺杂氧化锌的(Cu,Al)∶ZnO薄膜样品。通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜和分光光度计测试研究了氧分压对薄膜微观结构和光学性能的影响...
[期刊论文] 作者:李晓敏,武英桐,白睿,王东伟,黄美东,, 来源:真空 年份:2020
采用多弧离子镀技术在玻璃上沉积单质Ti薄膜,利用稳压电源对单质Ti薄膜进行阳极氧化,随后在不同温度下对其进行退火处理,研究了退火温度对TiO2薄膜结构和浸润性能的影响.利用...
[期刊论文] 作者:武英桐,李晓敏,白睿,王东伟,王宇,黄美东, 来源:真空 年份:2021
为了改善电弧离子镀薄膜表面存在的大颗粒污染问题,在真空室内附加一个与靶-基连线垂直的偏置电场,探究不同偏置电压对薄膜表面形貌、微观结构和力学性能的影响规律.结果表明...
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